Plasma assisted deposition of Pd thin films

• 作者A.-L. Thomann; P. Brault; C. Laure; B. Rousseau; H. Estrade-Szwarckopf; C. Andreazza-Vignolle; P. Andreazza; A. Naudon
• 卷第98卷
• 印刷ISSN0257-8972
• 文件大小823.19KB
• 发表时间1998
• DOI10.1016/s0257-8972(97)00226-0
• 页码1228-1232