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Comparative evaluation of drying techniques for surface micromachining

Comparative evaluation of drying techniques for surface micromachining

Chang-Jin Kim; John Y. Kim; Balaji Sridharan

作者Chang-Jin Kim; John Y. Kim; Balaji Sridharan
卷第64卷
期第1期
印刷ISSN0924-4247
文件大小1024.45KB
发表时间1998
DOI10.1016/s0924-4247(98)80053-8
页码17-26

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