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Structural and electrical properties of DC sputtered molybdenum films

Structural and electrical properties of DC sputtered molybdenum films

G. Gordillo; M. Grizález; L.C. Hernandez

作者G. Gordillo; M. Grizález; L.C. Hernandez
卷第51卷
印刷ISSN0927-0248
文件大小295.07KB
发表时间1998
DOI10.1016/s0927-0248(97)00236-5
页码327-337

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