Automated lifetime monitoring for factory process control

• 作者D. Lee; R. Briggs; T. Norton; D. Parker; F. Smith; S. Tobin; J. Welsch; F. Case; J. Mc Curdy; P. Mitra
• 卷第27卷
• 期第6期
• 印刷ISSN0361-5235
• 电子ISSN1543-186X
• 文件大小326.43KB
• 发表时间1998
• DOI10.1007/s11664-998-0041-3
• 页码709-717