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Thin Film Microstructure Control Using Glancing Angle Deposition by Sputtering

Thin Film Microstructure Control Using Glancing Angle Deposition by Sputtering

Sit, J. C.; Vick, D.; Robbie, K.; Brett, M. J.

期刊名称Journal of Materials Research
作者Sit, J. C.; Vick, D.; Robbie, K.; Brett, M. J.
卷第14卷
期第4期
印刷ISSN0884-2914
电子ISSN2044-5326
文件大小184.31KB
发表时间1999-4
DOI10.1557/JMR.1999.0162
页码1197-1199

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