High-density transition layer in oxynitride interfaces on Si(100)

J. Wang; D. R. Lee; C. Park; Y. H. Jeong; K. Lee; Y. J. Park; S. B. Youn; J. Park; H. M. Choi; Y. Huh

作者J. Wang; D. R. Lee; C. Park; Y. H. Jeong; K. Lee; Y. J. Park; S. B. Youn; J. Park; H. M. Choi; Y. Huh
文件大小303.52KB
发表时间1999
DOI10.1063/1.125452

发现好书期刊，享受阅读乐趣