Chemical sensing using nonoptical microelectromechanical systems
Freidhoff, C. B.; Young, R. M.; Sriram, S.; Braggins, T. T.; O'Keefe, T. W.; Adam, J. D.; Nathanson, H. C.; Syms, R. R. A.; Tate, T. J.; Ahmad, M. M.; Taylor, S.; Tunstall, J.
- 期刊名称Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
- 作者Freidhoff, C. B.; Young, R. M.; Sriram, S.; Braggins, T. T.; O'Keefe, T. W.; Adam, J. D.; Nathanson, H. C.; Syms, R. R. A.; Tate, T. J.; Ahmad, M. M.; Taylor, S.; Tunstall, J.
- 卷第17卷
- 期第4期
- 印刷ISSN0734-2101
- 文件大小938.87KB
- 发表时间1999
- DOI10.1116/1.581764