Development of chemically assisted dry etching methods for magnetic device structures

K. B. Jung; H. Cho; K. P. Lee; J. Marburger; F. Sharifi; R. K. Singh; D. Kumar; K. H. Dahmen; S. J. Pearton

作者K. B. Jung; H. Cho; K. P. Lee; J. Marburger; F. Sharifi; R. K. Singh; D. Kumar; K. H. Dahmen; S. J. Pearton
文件大小622.65KB
发表时间1999
DOI10.1116/1.590977

发现好书期刊，享受阅读乐趣