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Microstructure of concentric ring patterns on Ta/Si(100)

Microstructure of concentric ring patterns on Ta/Si(100)

H. Y. Sheng; D. Fujita; Z. C. Dong; H. Okamoto; T. Ohgi; H. Nejoh

作者H. Y. Sheng; D. Fujita; Z. C. Dong; H. Okamoto; T. Ohgi; H. Nejoh
文件大小860.37KB
发表时间1999
DOI10.1116/1.591128

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