发现好书期刊，享受阅读乐趣

海量图书期刊资源，随时随地畅享阅读乐趣

High resolution reactive ion etching of GaN and etch-induced effects

R. Cheung; R. J. Reeves; B. Rong; S. A. Brown; E. J. M. Fakkeldij; E. Van Der Drift; M. Kamp

作者R. Cheung; R. J. Reeves; B. Rong; S. A. Brown; E. J. M. Fakkeldij; E. Van Der Drift; M. Kamp
文件大小701.63KB
发表时间1999
DOI10.1116/1.591059