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Handbook of Advanced Plasma Processing Techniques || Plasma Modeling

Handbook of Advanced Plasma Processing Techniques || Plasma Modeling

Shul, Randy J.; Pearton, Stephen J.

作者Shul, Randy J.; Pearton, Stephen J.
文件大小5911.55KB
发表时间2000
DOI10.1007/978-3-642-56989-0_3
页码69-121

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