Surface micromachined diamond microswitch
Ertl, S.; Adamschik, M.; Schmid, P.; Gluche, P.; Flöter, A.; Kohn, E.
- 期刊名称Diamond and Related Materials
- 作者Ertl, S.; Adamschik, M.; Schmid, P.; Gluche, P.; Flöter, A.; Kohn, E.
- 卷第9卷
- 印刷ISSN0925-9635
- 文件大小242.15KB
- 发表时间2000-4
- DOI10.1016/S0925-9635(99)00292-7
- 页码970-974