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A new gas circulation RIE

A new gas circulation RIE

Ohiwa, T.; Sakai, I.; Okumura, K.
  • 期刊名称IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
  • 作者Ohiwa, T.; Sakai, I.; Okumura, K.
  • 卷第13卷
  • 期第3期
  • 印刷ISSN0894-6507
  • 文件大小240.15KB
  • 发表时间2000
  • DOI10.1109/66.857941
  • 页码310-314
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