Deposition rate in modulated radio-frequency silane plasmas
Biebericher, A. C. W.; Bezemer, J.; van der Weg, W. F.; Goedheer, W. J.
- 期刊名称Applied Physics Letters
- 作者Biebericher, A. C. W.; Bezemer, J.; van der Weg, W. F.; Goedheer, W. J.
- 卷第76卷
- 期第15期
- 印刷ISSN0003-6951
- 文件大小302.23KB
- 发表时间2000
- DOI10.1063/1.126235