Profiling nitrogen in ultrathin silicon oxynitrides with angle-resolved x-ray photoelectron spectroscopy

Chang, J. P.; Green, M. L.; Donnelly, V. M.; Opila, R. L.; Eng, J.; Sapjeta, J.; Silverman, P. J.; Weir, B.; Lu, H. C.; Gustafsson, T.; Garfunkel, E.

期刊名称Journal of Applied Physics
作者Chang, J. P.; Green, M. L.; Donnelly, V. M.; Opila, R. L.; Eng, J.; Sapjeta, J.; Silverman, P. J.; Weir, B.; Lu, H. C.; Gustafsson, T.; Garfunkel, E.
卷第87卷
期第9期
印刷ISSN0021-8979
文件大小467.02KB
发表时间2000
DOI10.1063/1.373090

发现好书期刊，享受阅读乐趣