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New effects in the kinetics of the electrochemical oxidation of silicon

New effects in the kinetics of the electrochemical oxidation of silicon

Vitali Parkhutik

作者Vitali Parkhutik
卷第45卷
期第20期
印刷ISSN0013-4686
文件大小161.89KB
发表时间2000
DOI10.1016/s0013-4686(00)00411-4
页码3249-3254

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