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Kinetic ellipsometry measurement of InGaP/GaAs hetero-interface formation in MOVPE

Kinetic ellipsometry measurement of InGaP/GaAs hetero-interface formation in MOVPE

T. Nakano; Y. Nakano; Y. Shimogaki

作者T. Nakano; Y. Nakano; Y. Shimogaki
卷第221卷
印刷ISSN0022-0248
文件大小395.25KB
发表时间2000
DOI10.1016/s0022-0248(00)00673-4
页码136-141

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