发现好书期刊，享受阅读乐趣

海量图书期刊资源，随时随地畅享阅读乐趣

Fabrication of masks for electron-beam projection lithography

M. Lercel; C. Magg; M. Barrett; K. Collins; M. Trybendis; N. Caldwell; R. Jeffer; L. Bouchard

作者M. Lercel; C. Magg; M. Barrett; K. Collins; M. Trybendis; N. Caldwell; R. Jeffer; L. Bouchard
文件大小864.53KB
发表时间2000
DOI10.1116/1.1314370