Profiling of ultrashallow junctions
M. J. Goeckner; S. B. Felch; Z. Fang; A. Oberhofer; V. K. F. Chia; G. R. Mount; M. Poulakos; W. A. Keenan
- 作者M. J. Goeckner; S. B. Felch; Z. Fang; A. Oberhofer; V. K. F. Chia; G. R. Mount; M. Poulakos; W. A. Keenan
- 文件大小450.75KB
- 发表时间2000
- DOI10.1116/1.591214