Excimer lasers for 0.1 μm lithography and beyond

K. Vogler; U. Stamm; R. Pätzel; I. Tassy; I. Bragin; R. Osmanov; S. Govorkov; J. Kleinschmidt; T Schroeder; F. Voß; D. Basting

作者K. Vogler; U. Stamm; R. Pätzel; I. Tassy; I. Bragin; R. Osmanov; S. Govorkov; J. Kleinschmidt; T Schroeder; F. Voß; D. Basting
卷第53卷
印刷ISSN0167-9317
文件大小288.95KB
发表时间2000
DOI10.1016/s0167-9317(00)00284-7
页码149-152

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