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Defects in epitaxial SiGe-alloy layers

Defects in epitaxial SiGe-alloy layers

Arne Nylandsted Larsen

作者Arne Nylandsted Larsen
卷第71卷
印刷ISSN0921-5107
文件大小400.16KB
发表时间2000
DOI10.1016/s0921-5107(99)00341-4
页码6-13

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