Performance of GaAs micromachined microactuator

T. Lalinský; E. Burian; M. Drz̆ı́k; Š. Hašc̆ı́k; Z̆. Mozolová; J. Kuzmı́k; Z. Hatzopoulos

作者T. Lalinský; E. Burian; M. Drz̆ı́k; Š. Hašc̆ı́k; Z̆. Mozolová; J. Kuzmı́k; Z. Hatzopoulos
卷第85卷
印刷ISSN0924-4247
文件大小230.85KB
发表时间2000
DOI10.1016/s0924-4247(00)00378-2
页码365-370

发现好书期刊，享受阅读乐趣