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Method for absolute calibration of reference plates for interferometric inspection of surfaces

E. A. Rudenchik; I. E. Kozhevatov; N. P. Cheragin; E. Kh. Kulikova; E. G. Bezrukova

作者E. A. Rudenchik; I. E. Kozhevatov; N. P. Cheragin; E. Kh. Kulikova; E. G. Bezrukova
卷第90卷
期第1期
印刷ISSN0030-400X
电子ISSN1562-6911
文件大小211.58KB
发表时间2001-01
DOI10.1134/1.1343555
页码113-120