Nitridation of Si(1 1 1)

X.-S. Wang; G. Zhai; J. Yang; L. Wang; Y. Hu; Z. Li; J.C. Tang; X. Wang; K.K. Fung; N. Cue

作者X.-S. Wang; G. Zhai; J. Yang; L. Wang; Y. Hu; Z. Li; J.C. Tang; X. Wang; K.K. Fung; N. Cue
卷第494卷
期第2期
印刷ISSN0039-6028
文件大小855.41KB
发表时间2001
DOI10.1016/s0039-6028(01)01409-1

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