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Uniformity optimization techniques for rapid thermal processing systems

Acharya, N.; Kirtikar, V.; Shooshtarian, S.; Hong Doan, ; Timans, P.J.; Balakrishnan, K.S.; Knutson, K.L.

期刊名称IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
作者Acharya, N.; Kirtikar, V.; Shooshtarian, S.; Hong Doan, ; Timans, P.J.; Balakrishnan, K.S.; Knutson, K.L.
卷第14卷
期第3期
印刷ISSN0894-6507
文件大小166.87KB
发表时间2001
DOI10.1109/66.939818
页码218-226