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Modeling of bombardment induced oxidation of silicon

Modeling of bombardment induced oxidation of silicon

De Witte, H.; Vandervorst, W.; Gijbels, R.

期刊名称Journal of Applied Physics
作者De Witte, H.; Vandervorst, W.; Gijbels, R.
卷第89卷
期第5期
印刷ISSN0021-8979
文件大小438.13KB
发表时间2001
DOI10.1063/1.1344581

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