Dry thermal oxidation of a graded SiGe layer

Lim, Y. S.; Jeong, J. S.; Lee, J. Y.; Kim, H. S.; Shon, H. K.; Kim, H. K.; Moon, D. W.

期刊名称Applied Physics Letters
作者Lim, Y. S.; Jeong, J. S.; Lee, J. Y.; Kim, H. S.; Shon, H. K.; Kim, H. K.; Moon, D. W.
卷第79卷
期第22期
印刷ISSN0003-6951
文件大小388.22KB
发表时间2001
DOI10.1063/1.1415373

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