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Wet etching of GaAs using synchrotron radiation x rays

Wet etching of GaAs using synchrotron radiation x rays

Ma, Qing; Moldovan, Nicolaie; Mancini, Derrick C.; Rosenberg, Richard A.

期刊名称Journal of Applied Physics
作者Ma, Qing; Moldovan, Nicolaie; Mancini, Derrick C.; Rosenberg, Richard A.
卷第89卷
期第5期
印刷ISSN0021-8979
文件大小840.27KB
发表时间2001
DOI10.1063/1.1345859

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