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THE INVESTIGATION OF SURFACE TOPOGRAPHY DEVELOPMENT IN Si(001) AND Si(111) DURING SIMS DEPTH PROFILING

THE INVESTIGATION OF SURFACE TOPOGRAPHY DEVELOPMENT IN Si(001) AND Si(111) DURING SIMS DEPTH PROFILING

LAU, G. S.; TOK, E. S.; WEE, A. T. S.; LIU, R.; LIM, S. L.
  • 期刊名称Surface Review and Letters
  • 作者LAU, G. S.; TOK, E. S.; WEE, A. T. S.; LIU, R.; LIM, S. L.
  • 卷第8卷
  • 期第5期
  • 印刷ISSN0218-625X
  • 电子ISSN1793-6667
  • 文件大小625.21KB
  • 发表时间2001-10
  • DOI10.1142/S0218625X01001233
  • 页码453-457
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