发现好书期刊,享受阅读乐趣

海量图书期刊资源,随时随地畅享阅读乐趣

X-ray photoemission spectroscopy study of silicidation of Ti on BF[sub 2][sup +]-implanted polysilicon

X-ray photoemission spectroscopy study of silicidation of Ti on BF[sub 2][sup +]-implanted polysilicon

H. N. Chua; K. L. Pey; W. H. Lai; J. W. Chai; J. S. Pan; D. H. C. Chua; S. Y. Siah
  • 作者H. N. Chua; K. L. Pey; W. H. Lai; J. W. Chai; J. S. Pan; D. H. C. Chua; S. Y. Siah
  • 文件大小628.75KB
  • 发表时间2001
  • DOI10.1116/1.1421565
← 返回【学霸图书馆】主页