[IEEE 2013 IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM) - Washington, DC, USA (2013.12.9-2013.12.11)] 2013 IEEE International Electron Devices Meeting - A 16nm FinFET CMOS technology for mobile SoC and computing applicationsWu, Shien-Yang; Lin, C. Y.; Chiang, M. C.; Liaw, J. J.; Cheng, J. Y.; Yang, S. H.; Liang, M.; Miyashita, T.; Tsai, C. H.; Hsu, B. C.; Chen, H. Y.; Yamamoto, T.; Chang, S. Y.; Chang, V. S.; Chang, C. H.; Chen, J. H.; Chen, H. F.; Ting, K. C.; Wu, Y. K.; Pan, K. H.; Tsui, R. F.; Yao, C. H.; Chang, P. R.; Lien, H. M.; Lee, T. L.; Lee, H. M.; Chang, W.; Chang, T.; Chen, R.; Yeh, M.; Chen, C. C.; Chiu, Y. H.; Chen, Y. H.; Huang, H. C.; Lu, Y. C; Chang, C. W.; Tsai, M. H.; Liu, C. C.; Chen, K. S.; Kuo, C. C.; Lin, H. T.; Jang, S. M.; Ku, Y. · 2013