Strain-induced anisotropic Ge diffusion in SiGe/Si superlattices
Lim, Y. S.; Lee, J. Y.; Kim, H. S.; Moon, D. W.
- 期刊名称Applied Physics Letters
- 作者Lim, Y. S.; Lee, J. Y.; Kim, H. S.; Moon, D. W.
- 卷第80卷
- 期第14期
- 印刷ISSN0003-6951
- 文件大小287.65KB
- 发表时间2002
- DOI10.1063/1.1465500