发现好书期刊，享受阅读乐趣

海量图书期刊资源，随时随地畅享阅读乐趣

Digital electrostatic electron-beam array lithography

L. R. Baylor; D. H. Lowndes; M. L. Simpson; C. E. Thomas; M. A. Guillorn; V. I. Merkulov; J. H. Whealton; E. D. Ellis; D. K. Hensley; A. V. Melechko

作者L. R. Baylor; D. H. Lowndes; M. L. Simpson; C. E. Thomas; M. A. Guillorn; V. I. Merkulov; J. H. Whealton; E. D. Ellis; D. K. Hensley; A. V. Melechko
卷第20卷
期第6期
文件大小620.21KB
发表时间2002
DOI10.1116/1.1520559