Polymer thickness effects on Bosch etch profiles
C. J. D. Craigie; T. Sheehan; V. N. Johnson; S. L. Burkett; A. J. Moll; W. B. Knowlton
- 作者C. J. D. Craigie; T. Sheehan; V. N. Johnson; S. L. Burkett; A. J. Moll; W. B. Knowlton
- 文件大小746.33KB
- 发表时间2002
- DOI10.1116/1.1515910