Implantation of N Ions on Sapphire Substrate for Improvement of GaN Epilayer
Y. S. Cho; J. Jhin; Y. J. Park; S. Cho; E. K. Koh; E. K. Kim; G. Kim; D. Byun; S. Min
- 作者Y. S. Cho; J. Jhin; Y. J. Park; S. Cho; E. K. Koh; E. K. Kim; G. Kim; D. Byun; S. Min
- 文件大小133.66KB
- 发表时间2002
- DOI10.1143/JJAP.41.4267