Physcial characterization of ultrathin high k dielectrics

Vandervorst, W.; Brijs, B.; Bender, H.; Conard, O. T.; Petry, J.; Richard, O.; Van Elshocht, S.; Delabie, A.; Caymax, M.; De Gendt, S.

期刊名称MRS Proceedings
作者Vandervorst, W.; Brijs, B.; Bender, H.; Conard, O. T.; Petry, J.; Richard, O.; Van Elshocht, S.; Delabie, A.; Caymax, M.; De Gendt, S.
卷第745卷
电子ISSN1946-4274
文件大小437.48KB
发表时间2002-1
DOI10.1557/proc-745-n2.2

发现好书期刊，享受阅读乐趣