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Thermal nitridation of ultrathin SiO2 on Si by NH3

Thermal nitridation of ultrathin SiO2 on Si by NH3

Osamu Jintsugawa; Masao Sakuraba; Takashi Matsuura; Junichi Murota

作者Osamu Jintsugawa; Masao Sakuraba; Takashi Matsuura; Junichi Murota
卷第34卷
期第1期
印刷ISSN0142-2421
电子ISSN1096-9918
文件大小121.09KB
发表时间2002
DOI10.1002/sia.1337
页码456-459

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