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Preliminary studies of atmospheric pressure plasma enhanced CVD (AP-PECVD) of thin oxide films

McSporran, N.; Hitchman, M. L.; Alexandrov, S. E.; Shamlian, S. H.; Turnbull, S.; Turnbull, S.

期刊名称Journal de Physique IV (Proceedings)
作者McSporran, N.; Hitchman, M. L.; Alexandrov, S. E.; Shamlian, S. H.; Turnbull, S.; Turnbull, S.
卷第12卷
期第4期
印刷ISSN1155-4339
文件大小430.29KB
发表时间2002-06
DOI10.1051/jp4:20020072
页码17-23