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Low-temperature crystallization of amorphous Si films using AlCl3 vapor

Low-temperature crystallization of amorphous Si films using AlCl3 vapor

Jin Hyung Ahn; Ji Hye Eom; Kyung Hoon Yoon; Byung Tae Ahn

作者Jin Hyung Ahn; Ji Hye Eom; Kyung Hoon Yoon; Byung Tae Ahn
卷第74卷
印刷ISSN0927-0248
文件大小226.85KB
发表时间2002
DOI10.1016/s0927-0248(02)00090-9
页码315-321

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