Diffusion Processes in Semiconductor Structures During Microwave Annealing
Yu. V. Bykov; A. G. Eremeev; N. A. Zharova; I. V. Plotnikov; K. I. Rybakov; M. N. Drozdov; Yu. N. Drozdov; V. D. Skupov
- 作者Yu. V. Bykov; A. G. Eremeev; N. A. Zharova; I. V. Plotnikov; K. I. Rybakov; M. N. Drozdov; Yu. N. Drozdov; V. D. Skupov
- 卷第46卷
- 印刷ISSN0033-8443
- 电子ISSN1573-9120
- 文件大小121.38KB
- 发表时间2003-08
- DOI10.1023/b:raqe.0000025008.97954.1c
- 页码749-755