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Studies of cobalt thin films deposited by sputtering and MOCVD

Y.K. Ko; D.S. Park; B.S. Seo; H.J. Yang; H.J. Shin; J.Y. Kim; J.H. Lee; W.H. Lee; P.J. Reucroft; J.G. Lee

作者Y.K. Ko; D.S. Park; B.S. Seo; H.J. Yang; H.J. Shin; J.Y. Kim; J.H. Lee; W.H. Lee; P.J. Reucroft; J.G. Lee
卷第80卷
期第2期
印刷ISSN0254-0584
文件大小198.83KB
发表时间2003
DOI10.1016/s0254-0584(03)00085-3
页码560-564