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Influence of substrate temperature on the orientation and optical properties of sputtered ZnO films

Influence of substrate temperature on the orientation and optical properties of sputtered ZnO films

X.H. Li; A.P. Huang; M.K. Zhu; Xu; J. Chen; H. Wang; B. Wang; H. Yan

作者X.H. Li; A.P. Huang; M.K. Zhu; Xu; J. Chen; H. Wang; B. Wang; H. Yan
卷第57卷
期第30期
印刷ISSN0167-577X
文件大小180.52KB
发表时间2003
DOI10.1016/s0167-577x(03)00379-3

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