A new edge-detected lift force flow sensor
Svedin, N.; Kalvesten, E.; Stemme, G.
- 期刊名称Journal of Microelectromechanical Systems
- 作者Svedin, N.; Kalvesten, E.; Stemme, G.
- 卷第12卷
- 期第3期
- 印刷ISSN1057-7157
- 文件大小1656.39KB
- 发表时间2003-06
- DOI10.1109/jmems.2002.807479
- 页码344-354