Catalytic CVD growth and properties of a-C:H and a-C:N
H. Nakayama; K. Takatsuji; S. Moriwaki; K. Murakami; K. Mizoguchi; M. Nakayama; Y. Miura
- 作者H. Nakayama; K. Takatsuji; S. Moriwaki; K. Murakami; K. Mizoguchi; M. Nakayama; Y. Miura
- 卷第430卷
- 印刷ISSN0040-6090
- 文件大小124.03KB
- 发表时间2003
- DOI10.1016/s0040-6090(03)00098-1
- 页码309-312