Effects of metal buffer layers on the hot filament chemical vapor deposition of nanostructured carbon films
K. M. Lee; H. J. Han; S. Choi; K. H. Park; S. Oh; S. Lee; K. H. Koh
- 作者K. M. Lee; H. J. Han; S. Choi; K. H. Park; S. Oh; S. Lee; K. H. Koh
- 文件大小764.05KB
- 发表时间2003
- DOI10.1116/1.1524136