Electroplating Ni micro-cantilevers for low contact-force IC probing

• 作者Kenichi Kataoka; Shingo Kawamura; Toshihiro Itoh; Kaoru Ishikawa; Hideo Honma; Tadatomo Suga
• 卷第103卷
• 印刷ISSN0924-4247
• 文件大小352.24KB
• 发表时间2003
• DOI10.1016/s0924-4247(02)00312-6
• 页码116-121