发现好书期刊，享受阅读乐趣

海量图书期刊资源，随时随地畅享阅读乐趣

Dielectric properties of AlN film on Si substrate

Z. X. Bi; Y. D. Zheng; R. Zhang; S. L. Gu; X. Q. Xiu; L. L. Zhou; B. Shen; D. J. Chen; Y. Shi

作者Z. X. Bi; Y. D. Zheng; R. Zhang; S. L. Gu; X. Q. Xiu; L. L. Zhou; B. Shen; D. J. Chen; Y. Shi
卷第15卷
期第5期
印刷ISSN0957-4522
电子ISSN1573-482X
文件大小169.81KB
发表时间2004-05
DOI10.1023/b:jmse.0000024233.82681.dc
页码317-320