Highly stripped ion sources for MeV ion implantation
Batalin, V. A.; Bugaev, A. S.; Gushenets, V. I.; Hershcovitch, A.; Johnson, B. M.; Kolomiets, A. A.; Kuibeda, R. P.; Kondratiev, B. K.; Kulevoy, T. V.; Litovko, I. V.; Oks, E. M.; Pershin, V. I.; Poole, H. J.; Petrenko, S. V.; Seleznev, D. N.; Svarovski, A. Ya.; Turchin, V. I.; Yushkov, G. Yu.
- 期刊名称Review of Scientific Instruments
- 作者Batalin, V. A.; Bugaev, A. S.; Gushenets, V. I.; Hershcovitch, A.; Johnson, B. M.; Kolomiets, A. A.; Kuibeda, R. P.; Kondratiev, B. K.; Kulevoy, T. V.; Litovko, I. V.; Oks, E. M.; Pershin, V. I.; Poole, H. J.; Petrenko, S. V.; Seleznev, D. N.; Svarovski, A. Ya.; Turchin, V. I.; Yushkov, G. Yu.
- 卷第75卷
- 期第5期
- 文件大小709.12KB
- 发表时间2004
- DOI10.1063/1.1702116