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Design and fabrication of epitaxial silicon micromirror devices

Design and fabrication of epitaxial silicon micromirror devices

LEE, C

期刊名称Sensors and Actuators A: Physical
作者LEE, C
印刷ISSN0924-4247
文件大小939.42KB
发表时间2004-05
DOI10.1016/S0924-4247(04)00207-9

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