Advanced Integration Process Technology for Highly Reliable Ferroelectric Devices

SONG, Y. J.; KANG, H. Y.; JOO, H. J.; JANG, N. W.; KIM, H. H.; PARK, J. H.; KANG, S. K.; LEE, S. Y.; KIM, KINAM

期刊名称Integrated Ferroelectrics
作者SONG, Y. J.; KANG, H. Y.; JOO, H. J.; JANG, N. W.; KIM, H. H.; PARK, J. H.; KANG, S. K.; LEE, S. Y.; KIM, KINAM
卷第61卷
期第1期
印刷ISSN1058-4587
电子ISSN1607-8489
文件大小2632.78KB
发表时间2004-08
DOI10.1080/10584580490458757
页码97-103

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